WebBPSGリフロー 英語表記：reflow of boro phospho silicate glass ボロンとリンの添加不純物を含有させたガラスを熱処理により流動化、平坦化させるプロセス。 流動化は、表面 …

WET膜厚とDRY膜厚 │ コーティング豆知識

Web硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层间介电质(AVID)在IC制造中有着广泛的应用。二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质(B2O3、P2O5 )的加入而变得疏松，在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力( Reflow )。 WebMay 14, 1996 · 研究概要 研究目的. 非小細胞肺癌による癌性胸膜炎に対しての、局所療法の有効性を明らかにする。 背景. 癌性胸膜炎に対する治療は胸腔内へ薬剤を注入する局 … reflex credit line increase

半導体製造工程の酸化膜について -半導体製造工程に用 …

Webグ液に混合することで，液全体の比誘電率を下げられる．比誘電率が下がるとhf の解離は 抑制され，熱酸化膜，teos 酸化膜のエッチング因子であるhf2－は減り，逆にbpsg の … WebBPSG膜 と熱酸化膜のエッチレートがほぼ等速になっている理由 は,低 誘電率溶媒中でNH、HF2が 一部解離してHF、- を生成するが,HF,『 からHFへ の解離は起こらず, … WebThe clad layers are composed of a boro-phospho-silicate glass (BPSG) film or a boro-silicate glass (BSG) film and the core layer is made of silica glass based material in which germanium density is set equal to or greater than 20wt%. 例文帳に追加. クラッド層をボロフォスフォシリケートガラス（BPSG）膜又はボロシリケートガラス（BSG）膜に … reflex dystrybutor